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干式真空泵有哪几种形式?

文章出处:未知 人气:发表时间:2018-08-26
干式真空泵有哪几种形式? 干式螺杆真空泵小编给您介绍,主要内容如下:

双圆裂片式
双圆裂片式规划和现在最盛行和广泛应用的罗茨泵十分类似。事实上,一些最前期的干泵规划思维就是将罗茨泵叠加起来。这种多级规划使得气体通路适当杂乱,而且每一级都需求较大流量的氮气起到稀释和阻隔效果。一起,为了到达好的真空度,对各级的空隙有十分严厉的要求。当然,这种规划因为增加了内部的紧缩比而使得其耗电量相对较低。
 
三叶圆裂片式
三叶圆裂片式规划和双圆裂片式规划的原理完全相同,只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种规划有着相同的长处和缺陷。为了进一步降低耗电量,在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会导致扭矩减小,重新启动的才能—下降。同双圆裂片式规划相同,三叶圆裂片式规划的每一级都需求较大流量的氮气来起到稀释和阻隔效果。
 
组合式(罗茨+爪)
组合式(罗茨+爪)规划用罗茨来进步在较低压力下的抽气效率,用爪来进步在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式规划完全相同。也有些厂家将其最终一级改为星型规划,这样能够在旋转一圈中将气体分为五份,就像三圆裂片式规划能够将其分为三份。相同,在许多工艺中,组合式规划的每一级都需求较大流量的氮气来起到稀释和阻隔效果。
 
外部紧缩型螺杆式
在外部紧缩型螺杆式规划中,运用一对等距螺杆。这使得内部紧缩减到最小,一起使得气体通路最短也最简略。这样,气体在泵体内逗留的时刻也最短。尽管这种规划因为减少了内部的紧缩比而使得其耗电量相对较高,但在许多杂乱的半导体工艺中表现出极高的稳定性。这种单级规划使得其对氮气用量的要求也十分小而且简略,这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性。在许多清洁的工艺中乃至能够不必氮气。
 
内部紧缩型螺杆式
除了运用一对非等距螺杆以外,内部紧缩型螺杆式规划和外部紧缩型螺杆式规划的基本原理十分类似。螺杆间容积的不断减小使得其内部发生紧缩。这种规划因为发生内部紧缩而使得其耗电量降低到同多级泵适当的水平。但在许多工艺中,这种内部紧缩同多级泵相同,极易形成气体在泵体内的物理化学变化而发生固化或液化。
 


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